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    年度97
    等級EI
    論文名稱Research on Fabricating CVD Diamond Microstructures Using RIE Process
    全部作者Chou, Wen-chen; Chao, Choung-lii; Fan, Wei-haw; Ma, Kung-jeng
    卷數Key Engineering Materials 407-408, pp.41-44
    ISSN(ISBN)1013-9826; 1662-9795
    使用語言英文
    備註期刊論文

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